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mems表面加工工藝的基本流程
點(diǎn)擊量：2614 日期：2020-03-23 編輯：硅時(shí)代
mems加工表面加工工藝是基于襯底表面進(jìn)行微結構制作的工藝，加工過(guò)程不需要對襯底進(jìn)行的去除或刻蝕，襯底主要用途是支撐微結構。
MEMS表面加工工藝基本流程r如下：
1. 沉積犧牲層材料；
2. 光刻定義犧牲層圖形，刻蝕完成犧牲層圖形轉移；
3. 沉積結構材料
4. 光刻定義結構層圖形，刻蝕完成結構層圖形轉移；
5. 釋放去除犧牲層，保留結構層，完成微結構制作；
表面加工工藝通用IC半導體工藝，有利于MEMS技術(shù)和IC完美兼容。
