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mems代加工服務(wù)的地方
點(diǎn)擊量:1318 日期:2020-05-19 編輯:硅時(shí)代
MEMS代加工服務(wù)商分為IDM廠(chǎng)商提供的MEMS代工和純MEMS代工廠(chǎng):
IDM廠(chǎng)商提供的MEMS代工包括博世、意法半導體、索尼、德州儀器等
純MEMS代工廠(chǎng)主要分為以下三類(lèi):
1. 大批量量產(chǎn)MEMS代工廠(chǎng)
國外代工廠(chǎng):Silex Microsystems、Teledyne DALSA、Asia Paci?c Microsystems,X-FAB ,Innovative Micro Technology等
國內代工廠(chǎng):臺積電,中芯國際,華宏宏力,華潤上華等;
2. 小批量中試線(xiàn):蘇州納米城6寸MEMS中試線(xiàn),上海新微8寸MEMS中試線(xiàn),淄博6寸MEMS中試線(xiàn)等;
3. 研發(fā)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)工藝平臺:北京微電子所加工平臺,蘇州納米所加工平臺,上海微系統所加工平臺,上海交通大學(xué)先進(jìn)電子材料與器件校級平臺等高校和研究所對外開(kāi)放工藝平臺。