國內MEMS代工廠(chǎng)分為IDM（垂直整合制造）MEMS代工和純MEMS代工廠(chǎng)。
IDM廠(chǎng)主要制造自己產(chǎn)品，同時(shí)也會(huì )利用富余產(chǎn)能對外代工服務(wù)，國內靠譜的IDM MEMS代工廠(chǎng)主要有士蘭微電子，華潤微電子，美太電子等。
純MEMS代工廠(chǎng)根據規劃和業(yè)務(wù)重點(diǎn)分為量產(chǎn)大批量代工和小批量中試線(xiàn)：
量產(chǎn)大批量MEMS代工廠(chǎng)國內主要有臺積電，中芯國際（紹興），華潤上華等，目前正在建設中的Silex北京也值得期待；
小批量MEMS中試線(xiàn)代工廠(chǎng)國內主要有上海新微8寸中試線(xiàn)，蘇州微納6寸中試線(xiàn)等，同時(shí)中科院納米所，微電子所等研究機構也提供可靠的小批量MEMS代工業(yè)務(wù)。
