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MEMS加工在MEMS陀螺儀領(lǐng)域的應用。陀螺儀的另一種叫法又稱(chēng)角速度傳感器，從定義上來(lái)看陀螺儀是測量載體角運動(dòng)或者角速度的傳感器從應用的角度上來(lái)看，陀螺儀多用于導航、定位等系統常用實(shí)例如手機GPS定位導航、衛星三軸陀螺儀定位，其陀螺儀的精度在整個(gè)過(guò)程中起到了至關(guān)重要的作用，也就是高精度的陀螺儀直接決定了慣性導航系統的精度以及制導和自動(dòng)控制系統的性能品質(zhì)。

陀螺儀的分類(lèi)：按照轉子轉動(dòng)的自由度分成雙自由度陀螺儀(也稱(chēng)三自由度陀螺儀)和單自由度陀螺儀（也稱(chēng)二自由度陀螺儀）,前者用于測定飛行器的姿態(tài)角，后者用于測定姿態(tài)角速度，因此常稱(chēng)單自由度陀螺儀為。但通常多按陀螺儀中所采用的支承方式分類(lèi)。例如：陀螺儀分為，壓電陀螺儀，微機械陀螺儀，光纖陀螺儀和激光陀螺儀，它們都是電子式的，并且它們可以和加速度計，磁阻芯片，GPS，做成慣性導航控制系統。

MEMS陀螺儀對微機械加工工藝具有高度的敏感性，加工工藝偏差、加工應力以及可靠性等對MEMS陀螺儀的成品率至關(guān)重要。整個(gè)微機械加工工藝流程是實(shí)現MEMS陀螺儀長(cháng)期穩定工作的基礎，因此必須加強微機械加工工藝過(guò)程的控制。

加工精度控制

MEMS陀螺儀微敏感結構的加工精度主要體現在梳齒、彈性梁等關(guān)鍵結構的加工誤差控制，這直接影響了MEMS陀螺儀敏感結構的對稱(chēng)性、諧振頻率、相位以及振動(dòng)穩定性等結構特性。

工藝參數在線(xiàn)控制

根據產(chǎn)品過(guò)程質(zhì)量控制的要求，需要對整個(gè)微機械加工工藝流程進(jìn)行在線(xiàn)控制。在MEMS陀螺儀微機械加工工藝復雜流程中，應識別出產(chǎn)品的關(guān)鍵工藝參數，建立一整套在線(xiàn)測試與質(zhì)量評估方法，提高微機械加工工藝一致性和成品率，如光刻對準精度的在線(xiàn)監測、鍵合強度的在線(xiàn)監測、采用掃頻技術(shù)測量敏感結構振動(dòng)幅度與頻率的關(guān)系以及裝配過(guò)程的應力測試等。