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MEMS代工的壓力傳感器設計制造步驟
點(diǎn)擊量：1148 日期：2022-07-23 編輯：硅時(shí)代
MEMS代工的壓力傳感器是一種薄膜元件，它在受到外部的壓力時(shí)會(huì )發(fā)生變形，可以通過(guò)電容感測兩個(gè)面之間的距離變化來(lái)加以測量，通常應用于汽車(chē)行業(yè)，醫療市場(chǎng)和工業(yè)領(lǐng)域。MEMS壓力傳感器是具有電源，接口電器，執行器，微型傳感器和信號處理的微型機電系統，尺寸小，性?xún)r(jià)比高。
