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加速度計mems加工工藝
點(diǎn)擊量：1470 日期：2020-04-07 編輯：硅時(shí)代
MEMS加速度傳感器是一個(gè)力傳感器，通過(guò)測量固定質(zhì)量塊在受到加速度作用時(shí)產(chǎn)生的力來(lái)測得加速度，包括彈性梁、質(zhì)量塊、固定框幾個(gè)部分，其加速度計MEMS加工加工工藝如下：
1.
制作壓敏電阻，需要用到離子注入工藝、熱推井工藝、熱氧化工藝的等摻雜工藝;
2.
制作質(zhì)量塊，需要用到干法深硅刻蝕工藝和濕法KOH硅腐蝕工藝等體加工工藝;
3.
釋放梁和質(zhì)量塊,需要用到干法和濕法釋放工藝;
4. 制作“三明治”結構，利用鍵合工藝來(lái)實(shí)現.
