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2023-07-25
在材料、微電子等研究課題中,制作高品質(zhì)的電極是準確反映材料或者器件本身性能的前提條件,為此我們需要制作一個(gè)高品質(zhì)的電極。在此,光刻中剝離(li...
2023-07-24
(1)負載效應 刻蝕中還存在負載效應,即發(fā)生刻蝕速率變慢的情況。分為宏觀(guān)負載效應和微觀(guān)負載效應??涛g面積很大時(shí),因為氣體傳輸受限和刻蝕氣體耗盡...
2023-07-24
原子層沉積(Atomic layer deposition)是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層的鍍在基底表面的方法。原子層沉積與普通的化學(xué)沉積有相似之處。但在...
2023-07-24
干涉光刻又叫全息光刻,是一種特殊的光刻手段,其特點(diǎn)是可以通過(guò)簡(jiǎn)單的設備即可獲得百納米周期性結構。下面我們簡(jiǎn)單介紹什么是干涉光刻、干涉光刻的一...
2023-02-21
微納加工中的EMI:是電磁波會(huì )與電子元件作用,產(chǎn)生干擾現象。它有以下幾個(gè)特點(diǎn): A、如果國內擁有自主知識產(chǎn)權的話(huà),價(jià)格相比較更低。 B、更加環(huán)保...
2023-02-01
微納加工中的硅從石英沙精練出來(lái),對硅元素加以純化便晶圓,它的純度可以達到百分之九十九,接下來(lái)是將些純硅制成硅晶棒,成為制造積體電路的石英半導...