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  • MEMS技術(shù)的研究現狀
    MEMS技術(shù)的研究現狀

    2020-02-21

    我國MEMS的研究始于二十世紀八十年代末。經(jīng)過(guò)十多年的發(fā)展,我國在多種微型傳感器、微型執行器和若干微系統樣機等方面已有一定的基礎和技術(shù)儲備,...

  • MEMS加工技術(shù)有關(guān)的工藝
    MEMS加工技術(shù)有關(guān)的工藝

    2020-02-21

    傳統的制造業(yè)依賴(lài)大量的關(guān)鍵機械設備和有關(guān)的工藝,這些設備和工藝已有幾十年甚至上百年的歷史了。例如鑄造、鍛造、車(chē)削、磨削、鉆孔和電鍍等均是一個(gè)...

  • 硅基微機械加工技術(shù)
    硅基微機械加工技術(shù)

    2020-02-21

    目前正在使用的硅基微機械加工技術(shù)有三種:體硅體微機械加工、表面微機械加工 、復合微機械加工。 1.1體硅微機械加工  這種加工是將整塊材料,如...

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