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2023-08-28
（2）熱壓法 熱壓法（hot embossing）是一種應用較廣泛的快速復制電泳微通道的芯片制作技術(shù)，適用于PMMA與PC等熱塑性聚合物材料。熱壓法的模具...
2023-08-28
點(diǎn)膠工藝如何不溢膠？ 要避免點(diǎn)膠過(guò)程中的膠水溢出，可以采取以下措施： 1. 控制點(diǎn)膠壓力 調整點(diǎn)膠設備的壓力，確保膠水以適當的壓力流出。過(guò)高的壓力...
2023-08-25
（二）硅表面微機械加工技術(shù) 美國加州大學(xué)Berkeley分校的Sensor and Actuator小組首先完成了三層多晶硅表面微機械加工工藝，確立了硅表面微加工工藝...
2023-08-22
刻蝕偏差是指刻蝕以后線(xiàn)寬或關(guān)鍵尺寸間距的變化（見(jiàn)圖1）。它通常是由于橫向鉆刻引起的（見(jiàn)圖2），但也能由刻蝕剖面引起。當刻蝕中要去除掩模下過(guò)量的...
2023-08-22
（1）光刻和刻蝕技術(shù) 傳統的用于制作半導體及集成電路芯片的光刻和刻蝕技術(shù)，是微流控芯片加工工藝中最基礎的。它是用光膠、掩膜和紫外光進(jìn)行微細加工...
2023-08-21
通常將傳感器的功能與人類(lèi)的五大感覺(jué)器官相比擬： 光敏傳感器——視覺(jué) 聲敏傳感器——聽(tīng)覺(jué) 氣敏傳感器——嗅覺(jué) 化學(xué)傳感器——味覺(jué) 壓敏、溫敏、流體傳...
