微特云辦公系統
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2022-04-12
mems設計之硅壓阻式壓力傳感器，顧名思義就是通過(guò)感知壓力變化工作的傳感器，其原理是敏感膜受壓后發(fā)生形變，引起惠斯通電橋的不平衡變化，繼而...
2022-04-01
微納加工技術(shù)是當今時(shí)代最重要的技術(shù)之一，歷史雖然不長(cháng)，但發(fā)展迅速。從實(shí)際應用來(lái)看，主要可分為兩大類(lèi)，硅基微機械加工技術(shù)和非硅基微機械加工技術(shù)...
2022-03-26
MEMS器件常用的MEMS加工方法主要有表面微加工，體硅微加工，LIGA，SOI等。 1、表面微加工：一種是在硅襯底表面采用專(zhuān)業(yè)方法生成薄膜，并...
2022-03-15
mems即Micro-Electro-Mechanical Systems的縮寫(xiě)，意為微機電系統。 mems傳感器就是利用mems技術(shù)制造的傳感器。mems加工通常是由...
2022-01-12
CMOS被稱(chēng)為互補金屬氧化物半導體，是IC集成電路制造工藝中的一種，使用廣泛。 MEMS中文名微電子機械系統，是具備獨立功能的智能系統...
