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2021-12-25
MEMS設計表面微加工指通過(guò)沉積多層薄膜和圖形制備三維微機結構的一種加工方式。其常用的薄膜材料主要有：多晶硅，氮化硅，氧化硅， PSG（磷硅酸...
2021-12-11
mems傳感器要處于最佳工作狀態(tài)，需要通過(guò)各種軟件對測量過(guò)程進(jìn)行管理和調節，并對數據進(jìn)行各種處理，進(jìn)而增加傳感器功能，提高其性能指標。高質(zhì)...
2021-12-03
聚焦離子束（FIB）技術(shù)是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過(guò)離子槍加速，聚焦后作用到樣品表面并進(jìn)行納米加工。目前已廣泛應用于半導體集成電路修改、切割...
2021-11-26
由于能量集中度高、熱影響區域小、沒(méi)有殘渣飛濺和熔渣、不需要特殊的氣體環(huán)境、沒(méi)有后續工藝、雙光子聚合加工精度高（精度可達到0.7um）等優(yōu)勢，...
2021-11-18
MEMS加工的加速度傳感器是一種能夠測量加速力的電子設備。加速度計目前有兩種：一種是角加速度傳感器，也叫陀螺儀；另一種是線(xiàn)加速度計。 ...
2021-11-05
在MEMS加工工藝中，從上到毫米，再下到微米的微結構加工技術(shù)都可稱(chēng)之為MEMS工藝制造，其在半導體和微電子工藝基礎上發(fā)展而來(lái)，以光刻，鍍...
