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2021-09-15
濾波器作為一種選頻元件,用來(lái)抑制噪聲、選擇或限定RF/微波信號的頻段范圍,在許多RF/微波應用中起著(zhù)重要的作用。傳統的濾波器體積大、制造成...
2021-09-09
MEMS代工主要包括微型機構、微型傳感器、微型執行器和相應的處理電路等幾部分, MEMS芯片有的帶有腔體和薄膜、有的帶有懸梁,這些微機械結...
2021-04-30
MEMS加工平臺的全稱(chēng)是微型電子機械系統(MicroElectromechanicalSystem),是利用傳統的半導體工藝和材料,集微傳感器、微執行器、微機械機構、...
2021-04-14
MEMS加工在MEMS陀螺儀領(lǐng)域的應用。陀螺儀的另一種叫法又稱(chēng)角速度傳感器,從定義上來(lái)看陀螺儀是測量載體角運動(dòng)或者角速度的傳感器從應用的角度...
2021-04-13
CVD 加工工藝是制作微傳感器、微執行器 和 MEMS加工的主流技術(shù) ,是近年來(lái)隨著(zhù)集成電路工藝 發(fā)展起來(lái)的 ,它是離子束、電子束、...
2020-12-18
mems器件加工是根據產(chǎn)品需要,在各類(lèi)襯底(硅襯底,玻璃襯底,石英襯底,藍寶石襯底等等)制作微米級微型結構的加工工藝。微納傳感器加工工藝制作的...