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2020-03-14
1、體加工工藝 體加工工藝包括去加工（腐蝕）、附著(zhù)加工（鍍膜）、改質(zhì)加工（摻雜）和結合加工（鍵合）。主要介紹腐蝕技術(shù)。腐蝕技術(shù)主要包括干法腐蝕...
2020-03-14
LIGA與準LIGA技術(shù) 1986年德國W.Ehrfeld教授首先開(kāi)發(fā)了進(jìn)行三維微細加工最有前途的方法——LIGA技術(shù)。 ——LI，Lithographier，即深度X射...
2020-03-13
MEMS研究的歷史 MEMS技術(shù)被譽(yù)為21世紀帶有革命性的高新技術(shù)，它的誕生和發(fā)展是“需求牽引”和“技術(shù)推動(dòng)”的綜合結果。 隨著(zhù)人類(lèi)社會(huì )全...
2020-02-21
SLIGA技術(shù)是H.Guckle教授等人結合硅面加工技術(shù)和常規LIGA技術(shù)而開(kāi)發(fā)出的一種新工藝。在這個(gè)工藝中，犧牲層用于加工...
2020-02-21
MEMS即Micro-Electro-Mechanical System，它是以微電子、微機械及材料科學(xué)為基礎，研究、設計、制造、具有特定功能的微型裝置，包括微結構器...
2020-02-21
MEMS技術(shù)被譽(yù)為21世紀帶有革命性的高新技術(shù)，它的誕生和發(fā)展是“需求牽引”和“技術(shù)推動(dòng)”的綜合結果。 隨著(zhù)人類(lèi)社會(huì )全面向信息化邁進(jìn)，信息系統的...
