微特云辦公系統
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2020-03-31
微納米加工的圖形化工藝主要分為圖形轉移和直接加工兩種技術(shù)，圖形轉移技術(shù)包括三個(gè)部分：薄膜沉積，圖形成像，圖形轉移。而直接加工的激光束蝕刻技術(shù)...
2020-03-26
微納加工工藝沉積SiO2薄膜主要通過(guò)氧化和cvd兩種工藝方法。 氧化工藝是在高溫下，襯底的硅直接與O2發(fā)生反應生成SiO2，后續O2通過(guò)SiO2層擴散到...
2020-03-24
微機電工程系統（MicroelectromechanicalSystems，簡(jiǎn)稱(chēng)為MEMS）是將微電子技術(shù)與機械工程結合到一起的一種工業(yè)技術(shù)，它的操作范圍在μm范圍之...
2020-03-24
液位傳感器形體小，相對性?xún)糁剌^為輕，精確度高，有益于一體化的應用，在工作壓力，高寬比，液體速度總流量，水利工程，地質(zhì)學(xué)，化工廠(chǎng)等診療行業(yè)獲得...
2020-03-23
mems加工表面加工工藝是基于襯底表面進(jìn)行微結構制作的工藝，加工過(guò)程不需要對襯底進(jìn)行的去除或刻蝕，襯底主要用途是支撐微結構。 MEMS表面加工工...
